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太陽能電池製程

 

 

 

 

 

 

晶圓清洗

 

 

主要用來去除晶圓Saw Damage。

 

 

表面粗糙化蝕刻

 

 

使晶圓表面形成粗糙化,增加入射光機率。

 

磷擴散

 

 

將晶片在高溫爐中通入含磷氣體,使電洞較多的P型矽晶片表層滲入磷,形成電子較多的N型區域。

 

 

此即光電轉換效應所需的P-N接面。

 

磷玻璃移除及化學方式晶邊絕緣

 

 

主要是將磷擴散過程中會在整片晶片外層形成磷玻璃,必須以去除後才能進行後續製程,同時該製

 

 

程也會進行晶片絕緣處理。

 

電漿增益化學氣相沉積

 

 

利用化學氣體在高溫爐中反應,於晶片表面形成抗反射鍍層,用來提升光子吸收率,並於背面形成

 

鈍化層,降低載子複合機率。

 

雷射開孔

 

 

讓背面膠料能夠滲入形成良好局部背電場(BSF)介面。

 

網印製程

 

 

主要是正反面粗細電極皆以網印方式將含銀、鋁之膠料印製於晶片表面。

 

快速燒結

 

主要是金屬漿料經過網印、烘乾之步驟,經由燒結處理,使其穿透正面/背面鍍層並滲入矽晶片表層,

 

緊密結合並將電流導出。

 

外觀檢查及電性測試分類

 

 

主要是將燒結完成之晶圓進行外觀與效能檢測,並依檢測結果(正反面外觀、量測光電轉換效率等電性資料),

 

依據所設定之產品分類定義進行篩選分類。